產品說明

8-12 Inch 單片晶圓dry-in/dry-out清洗平臺，適用于先進封裝制程的particle、有機、無機、助焊劑等污染物清洗。可選配二流體、megasonic、超高壓噴洗、RCA 、Hot water及蒸氣等清洗方式，清洗工藝窗口寬，清洗能力強，占地面積小，性價比高等特點。

功能說明

制程均勻度可用 recipe 調控。

良率優于 wet bench type。

單片模式之機況可控制可追溯。

制程個別參數易于調整。

可控制之藥液量使用,能保持每片芯片之相同制程環境。

潔凈度控制優于批次生產。

Footprint 較小。

適用于 wafer dry in / dry out制程。

機臺之安全性優于 bench type。

為未來濕式高階設備之主流機臺。江蘇芯夢設備采用先進技術，助你輕松提升產能！青海全自動晶圓盒清洗機聯系人

FOUP清洗機特性：可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes 及其他可裝載于清洗籃之制品。伺服馬達驅動,設有扭力偵測安全機構，防止人為誤操作造成損壞及危險。具備停機自動歸位功能，方便裝載清洗制品。旋干制程中除IR干燥外，運用氣流干燥，可加速去除較大水滴，增進干燥效果; 進而提升效率。

應用范圍：該設備主要用于半導體制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。

分類：

全自動FOUP清洗機、半自動foup清洗機。

4寸~12寸全尺寸兼容，快速實現干進干出，30~60分鐘完成1次清洗工藝節拍，更大吞吐量廣東全自動片盒清洗機聯系人芯夢設備具有多種智能功能，助你輕松應對各種挑戰！

產品介紹:半導體清洗機請認準江蘇芯夢半導體設備有限公司，經營各類半導體清洗機，為半導體清洗機專業供應商，其中就包含FOUP清洗機。FOUP清洗機是一種自動的離心清洗機，適用于所有類型的晶圓料盒SmifFoup、Fosb、Cassette,可以實現無與比的清洗和干燥效果裝載有待清洗的foup在Chambe的中轉安裝和固定在封的清洗室內36正反轉動。由D1Wlate的表面張力、機械力進Patcdle清洗離心+熱風進行供干等工藝組成，高效率、高質量完成foup的Particle清洗。設備特點：五大系統結構、純水加熱PWH、高壓噴淋HPS（噴頭位置/形狀，可以根據客戶料盒形態針對性調整）、熱風烘干HAD（可選配CDA吹干和紅外模式）、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。配備強大的兼容性：4寸~12寸全尺寸兼容，晶圓盒/光罩盒/彈匣/FOUP/FOSB等；30~60分鐘完成1次清洗工藝，快速實現干進干出；四工位/六工位選擇，依不同產品適配的裝載量；配備可靠的過濾系統；EN18822-H14高等級空氣過濾系統；0.1um超純水過濾；0.003umCDA過濾。

FOUP的干燥步驟旨在將其表面的水分完全去除，以確保FOUP在后續的半導體制造過程中不會引入水分造成污染或其他問題。以下是一般的FOUP干燥步驟：靜置排水：在沖洗步驟之后，FOUP可能會經過一段時間的靜置，以讓水自然排出。FOUP通常被放置在傾斜或垂直的位置，以便水能夠從FOUP底部排出。噴氣干燥：為了加速干燥過程，FOUP清洗機通常配備了噴氣裝置。噴氣裝置會通過向FOUP表面噴射干燥的氣流，將水分蒸發。氣流可以是壓縮空氣或氮氣。噴氣干燥的時間和氣流的強度可以根據需要進行調整。熱風干燥：有些FOUP清洗機還配備了熱風干燥功能。在噴氣干燥之后，FOUP可能會進入一個熱風室，其中通過加熱空氣或氮氣來加速水分的蒸發。熱風干燥可以更徹底地去除FOUP表面的水分。真空干燥：另一種常見的干燥方法是利用真空環境。FOUP可能會進入一個真空腔室，其中通過創建負壓，使水分在低壓下蒸發。真空干燥可以提供更快速和徹底的干燥效果。氣流凈化：在干燥過程中，清洗機通常會通過高效過濾器和空氣凈化系統提供干凈的氣流環境。這有助于防止新的顆粒進入FOUP，并確保干燥過程中不會引入新的污染物。江蘇省晶圓盒清洗機哪家靠譜就選江蘇芯夢半導體設備有限公司！

Foup清洗機是用于半導體生產中的關鍵設備，用于清洗和處理晶圓載具（Foup）。我們的Foup清洗機采用先進的智能化設計，結構緊湊，占用空間小，適合各種生產場景。其外觀精美，質感上乘，提升了生產品質，同時采用品質材料，使用壽命長，是您的長久伙伴。我們的產品可以個性化定制。具有多種智能功能，助您輕松應對生產挑戰。操作簡單，維護方便，降低您的使用成本。具有高精度功能，確保生產體驗。采用先進的自動化控制技術，提升使用效率。選擇我們的Foup清洗機，讓您的晶圓生產更加智能化、自動化選擇芯夢的設備，讓你的生產過程更加安全、穩定！半自動片盒清洗機怎么收費

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FOUP清洗機是一種清洗foup的設備，用于清洗和處理FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）。FOUP是半導體制造過程中存放晶圓的封閉式容器。FOUP清洗機通過自動化的清洗過程，去除FOUP內外的污染物，確保晶圓的高純度和可靠性。FOUP清洗機具備多種功能和處理能力。它能夠去除FOUP內的油脂、有機物、化學物質殘留和水分。清洗機采用不同的清洗方法和工藝參數，如噴淋清洗、超聲波清洗、高溫處理等，以適應不同類型的污染物，并確保清洗效果。清洗機具有高效、快速的特點。它能夠在短時間內完成清洗過程，提高生產效率。自動化控制系統確保清洗過程的精確執行，減少人為操作的誤差。FOUP清洗機注重安全性和可靠性。它采用高質量的材料和密封結構，確保清洗過程中不會對FOUP造成損害。安全控制系統和報警裝置保障操作人員的安全。清洗機還配備直觀的用戶界面和操作控制面板，使操作人員能夠輕松控制和監測清洗過程。清洗機還具備數據記錄和追溯功能，方便對清洗過程進行監控和分析。它可記錄清洗參數、時間和結果等信息，為質量控制青海全自動晶圓盒清洗機聯系人

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